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TOPCon 高效电池工艺流程!
来源:雷火竞技app官网入口   上传时间:2024-03-16 23:47:44

  构成崎岖不平的绒面,其效果为:a.使用陷光效应,添加硅片对太阳光的吸收,下降反射率;一起添加硅片表面积,从而P-N结面积也相同添加;

  在N型硅片(掺磷)上分散P型元素(硼)构成P-N结(即空间电荷区) ,在正面构成P+层,反面构成N+层。

  在必定的浓度、温度、压力及时刻下,硼源(BBr3或BCl3)在管式炉中汽化后,经过一系列化学反响在硅片标明上进行堆积,取得适宜的掺杂浓度、结深及方阻;

  在硅片反面堆积一层超薄氧化层供给杰出的界面钝化,一起供给不同载流子隧穿势垒;

  非晶硅堆积:高温通硅烷,硅烷热分化成硅和氢气;反响方程式:SiH4(气)=Si(固)+H2

  氧气的存鄙人,POCl3在高温下分化生成五氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5),反响式:

  首要经过HF+HNO3的混合溶液,对硅片正面和边际进行刻蚀,以到达去除正面及边际BSG的效果。

  硅片标明发生一层Si3H4薄膜,既可作为减反射膜,发生钝化效果;又因其结构细密确保硅片不被氧化;

  硅片置于阴极上,使用辉光放电使硅片升温到预订的温度,然后通入适量的SiH4和NH3气体,经一系列化学反响和等离子体反响,在样品标明发生固态Si3H4薄膜;

  反面印主栅→烘箱→反面印副栅→烘箱→正面印主栅→烘箱→正面印副栅→烧结炉→高温退火炉→测验;

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