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亚成微请求LDMOS器材及其制备办法专利能轻松的取得更高的off态溃散电压且可以下降LDMOS器材的电阻
来源:雷火竞技app官网入口   上传时间:2024-02-06 09:35:51

  亚成微请求LDMOS器材及其制备办法专利,能轻松的取得更高的off态溃散电压,且可以下降LDMOS器材的电阻

  金融界2024年2月3日音讯,据国家知识产权局公告,陕西亚成微电子股份有限公司请求一项名为“一种LDMOS器材及其制备办法“,揭露号CN117497594A,请求日期为2023年11月。

  专利摘要显现,本揭露提醒了一种LDMOS器材,包含:N+衬底,所述N+衬底上设置有外延层,所述外延层上设置有P型阱,所述P型阱外表设置有N型阱,所述N型阱外表设置有漏极,所述N型阱内设置有P/N/P结构;所述P型阱外表还设置有源极,所述源极和N型阱之间设置有N型漂移区,所述N型漂移区上方设置有STI沟槽,所述STI沟槽内淀积有二氧化硅,所述STI沟槽以及N型漂移区上方顺次设置有二氧化硅层和多晶硅层,所述二氧化硅层和多晶硅层外表刻蚀后构成栅极。本揭露还提醒了一种LDMOS器材的制备办法。本揭露经过在N型阱内构成P/N/P结构,能轻松的取得更高的off态溃散电压,且可以下降LDMOS器材的电阻。

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