(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(43)申请公布日(21)申请号5.X(22)申请日2022.05.16(71)申请人若名芯装备（苏州）有限公司地址215000江苏省苏州市张家港市凤凰镇恬庄村第二十四组100号申请人若名芯半导体科技（苏州）有限公司(72)发明人余涛庞金元(74)专利代理机构苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)32246专利代理师(51)Int.Cl.B01F21/00(2022.01)(54)发明名称一种二氧化硅的溶解方法(57)摘要本发明公开了一种二氧化硅的快速溶解方法，包括如下步骤：将二氧化硅含有液送至含有碱性溶液的溶液罐中对二氧化硅的初溶解；将初溶解的含硅溶液送至加热罐内；将酸性物质送至加热罐中；在加热罐中让酸性物质和初溶解的含硅溶液混合后在温度为80‑160的条件下加热，然后将含有二氧化硅的酸溶液送至工艺腔内，本发明的二氧化硅的溶解方法，预先利用碱性溶液对二氧化硅含有液进行初溶解，再将初溶解的二氧化硅送至酸性物质中进行反应，从而加速了二氧化硅的溶解，提升了反应时间，并能够最终靠调整硅的含量，来调整药液的特性，快速缩短了药液调配的而时间，满足后续的使用需求。权利要求书1页说明书3页附图2页CN1147685621.一种二氧化硅的溶解方法，其特征是，包括如下步骤：将二氧化硅含有液送至含有碱性溶液的溶液罐中对二氧化硅进行初溶解；将初溶解的二氧化硅溶液送至加热罐内；将酸性物质送至加热罐中；在加热罐中让酸性物质和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为80‑160的条件下加热，将含有二氧化硅的酸液送至工艺腔内。2.如权利要求1所述的二氧化硅的溶解方法，其特征是：所述碱性溶液为氨水、氢氧化钠和氢氧化钾中的一种。3.如权利要求1所述的二氧化硅的溶解方法，其特征是：所述酸性溶液为盐酸、磷酸和硝酸中的一种。4.如权利要求1所述的二氧化硅的溶解方法,其特征是：含有碱性溶液的溶液罐为多CN114768562一种二氧化硅的溶解方法技术领域[0001]本发明属于二氧化硅溶解方法的技术领域，尤其涉及一种用于二氧化硅的溶解方背景技术[0002]二氧化硅是一种无机物，化学式为SiO2，硅原子和氧原子长程有序排列形成晶态二氧化硅，短程有序或长程无序排列形成非晶态二氧化硅，广泛存在于岩石、砂砾、尘土之[0003]为了加速酸性溶液对一些特殊物质的刻蚀速率，通常会在酸性溶液中添加二氧化硅溶液来达到目的，而目前常规的方式是直接添加法，将二氧化硅放入到酸性溶液中，但是由于二氧化硅的特性，二氧化硅的溶解往往需要很长的时间，因此导致刻蚀的时间变成长，进而不足以满足实际生产的需求。发明内容[0004]本发明目的是为客服现存技术的不足而提供一种操作便捷，预先利用碱性溶液对二氧化硅进行预溶解，再将酸性物质与溶解物进行反应，加速了二氧化硅的溶解，提升反应时间的一种二氧化硅的溶解方法。[0005]为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种二氧化硅的溶解方法，[0006]包括如下步骤：[0007]将二氧化硅含有液送至含有碱性溶液的溶液罐中进行二氧化硅的初溶解；[0008]将初溶解后的二氧化硅溶液送至加热罐内；[0009]将酸性物质送至加热罐中；[0010]在加热罐中让酸性物质和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为80‑160的条件下加热，将含有二氧化硅的酸液送至工艺腔内。[0011]进一步的，所述碱性溶液为氨水、氢氧化钠和氢氧化钾中的一种。[0012]进一步的，所述酸性溶液为盐酸、磷酸和硝酸中的一种。[0013]进一步的，含有碱性溶液的溶液罐为多个。[0014]进一步的，加热罐的数量为多个。[0015]由于上述技术方案的运用，本发明与现存技术相比具有下列优点：[0016]本发明方案的二氧化硅的溶解方法，预先利用碱性溶液对二氧化硅含有液进行初溶解，再将初溶解的二氧化硅送至酸性物质中进行反应，从而加速了二氧化硅的溶解，提升了反应时间，并能够最终靠调整硅的含量，来调整药液的特性，快速缩短了药液调配的而时间，满足后续的使用需求。附图说明[0017]下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：CN114768562[0018]图1为本发明的流程示意图；[0019]图2为本发明实施例一中二氧化硅含有液的溶解结构示意图；[0020]图3为本发明实施例六中二氧化硅含有液的溶解结构示意图；[0021]其中：酸性溶液1、二氧化硅含有液2、溶液罐3、加热罐4、工艺腔5、碱性溶液30。具体实施方式[0022]下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步的详细说明。[0023]参阅图1，本发明所述的一种二氧化硅的溶解方法，包括如下步骤：将二氧化硅含有液送至含有碱性溶液的溶液罐中以1:0.9‑1.8的比例进行二氧化硅的初溶解；将初溶解的二氧化硅溶液送至加热罐内；将酸性物质送至加热罐中；在加热罐中让酸性物质和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为80‑160的条件下,加热后将含有二氧化硅的酸溶液送至工艺腔内。[0024]其中，碱性溶液为氨水、氢氧化钠和氢氧化钾中的一种；酸性溶液为盐酸、磷酸和硝酸中的一种，另外含有碱性溶液的溶液罐数量可以为多个，溶液罐的数量可以为多个。[0025]实施例一[0026]请参阅图2，将300g二氧化硅含有液送至含有一个氨水溶液的溶液罐中以1:0.9的比例进行二氧化硅的初溶解；将初溶解的二氧化硅溶液送至加热罐内；将盐酸送至加热罐中；在加热罐中让盐酸和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为80的条件下，加热6min后将含有二氧化硅的酸溶液送至工艺腔。[0027]实施例二[0028]将300g二氧化硅含有液送至含有氢氧化钠溶液的溶液罐中以1:1.1的比例进行二氧化硅的初溶解；将初溶解的二氧化硅溶液送至加热罐内；将磷酸送至加热罐中；在加热罐中让磷酸和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为160的条件下，加热6min后将含有二氧化硅的酸溶液送至工艺腔。[0029]实施例三[0030]将300g二氧化硅含有液送至含有氢氧化钾溶液的溶液罐中以1:1.2的比例进行二氧化硅的初溶解；将初溶解的二氧化硅溶液送至加热罐内；将硝酸送至加热罐中；在加热罐中让硝酸和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为80的条件下，加热5min后将含有二氧化硅的酸溶液送至工艺腔。[0031]实施例四[0032]将300g二氧化硅含有液送至含有氨水碱性溶液的溶液罐中以1:1.2的比例进行二氧化硅的初溶解；将初溶解的二氧化硅溶液送至加热罐内；将磷酸酸性物质送至加热罐中；在加热罐中让磷酸和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为160的条件下，加热4min后将含有二氧化硅的酸溶液送至工艺腔。[0033]实施例五[0034]将300g二氧化硅含有液送加热罐内；将磷酸酸性物质送至加热罐中；在加热罐中让磷酸和二氧化硅溶液混合后在温度为160的条件下，加热20min后将含有二氧化硅的酸 溶液送至工艺腔。 [0035] 实施例六 CN114768562 [0036]请参阅图3，将300g二氧化硅含有液送至含有二个氨水溶液的溶液罐中以1:0.9的 比例进行二氧化硅的初溶解；将初溶解的二氧化硅溶液送至加热罐内；将盐酸送至加热罐 中；在加热罐中让盐酸和初溶解的二氧化硅溶液混合后在温度为80的条件下，加热4min 后将含有二氧化硅的酸溶液送至工艺腔。 [0037] 上述六个实施例的对比关系如下表所示： [0038] [0039] 从实施例五与实施例一、实施例二、实施例三和实施例四之间的对比能够准确的看出，通 过预先将二氧化硅含有液放入碱性溶液中将二氧化硅预溶解，再将二氧化硅溶液与酸性物 质进行溶解，能够迅速加快Si的溶解，溶解时间短。 [0040] 另外，从实施例一、实施例二和实施例三中能够准确的看出采用不一样的酸性物质和碱性 溶液，均能较好的加速二氧化硅的溶解。 [0041] 从实施例一和实施例四的对比可知，提升碱性溶液的比例，能提高二氧化硅溶 解的时间。 [0042] 从实施例一和实施例六的对比可知，能够使用多个放置碱性溶液的溶液罐来缩短 二氧化硅的溶解时间。 [0043] 本发明的二氧化硅的溶解方法，预先利用碱性溶液对二氧化硅含有液进行初溶 解，再将初溶解的二氧化硅送至酸性物质中进行反应，从而加速了二氧化硅的溶解，提升了 反应时间，并能够最终靠调整硅的含量，来调整药液的特性，快速缩短了药液调配的而时间， 满足后续的使用需求。 [0044] 以上仅是本发明的具体应用范例，对本发明的保护范围不构成任何限制。凡采用 等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本发明权利保护范围以内。 CN114768562 CN114768562 CN114768562