二氧化硅的熔点是1600-1700°C之间。 不同形状的二氧化硅熔点不一样，熔点1670℃（鳞石英）、1710℃（方石英）。 二氧化硅的熔点和硬度都很大，由于二氧化硅是原子晶体，原子晶体的熔点和硬度都很大。

  难溶于水，能溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸中并放出四氟化硅，在空气中加热时生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太安稳，在空气中会氧化成二氧化硅。当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化（见歧化反响）而成硅和二氧化硅。